透射电镜(TEM)样品制备

透射电镜(TEM)样品制备

透射电镜样品制备在显微学研究中起着至关重要的作用,要想得到好的TEM结果,最重要的是前处理工作。

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透射电镜样品制备在显微学研究中起着至关重要的作用,要想得到好的TEM结果,最重要的是前处理工作。


常用方法:

化学减薄、电解双喷、超薄切片、粉碎研磨、聚焦离子束、机械减薄、离子减薄


对样品要求:

1. 样品一般应为厚度小于100nm的固体。

2. 感兴趣的区域与其它区域有反差。

3. 样品在高真空中能保持稳定。

4. 不含有水分或其它易挥发物,含有水分或其他易挥发物的试样应先烘干除去。

5. 对磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。


TEM样品常放置在直径为3mm的200目样品网上,在样品网上常预先制作约20nm厚的支持膜。


样品制备工艺图:






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